半導体等電子部品製造装置メーカーで薄膜形成・加工装置を主力とし、CVD装置、エッチング装置、洗浄装置、原子層堆積装置(ALD)、Aqua Plasma洗浄装置を展開。化合物半導体分野、シリコン半導体分野、電子部品分野、ヘルスケア関連分野向け装置を提供。新中期経営計画(2025年8月1日～2028年7月31日)で装置製造原価率45.0％未満、売上高営業利益率25.0％以上、海外売上高比率50％以上を目標に、生産機販売強化、海外販売拡大、新規装置開発を推進。台湾を中心とする保守サービス業務を現地法人に委託。