半導体製造装置の製造・販売・保守サービスを展開。主力は前工程の「成膜」工程用バッチ成膜装置と「熱処理」工程用トリートメント装置で、バッチALD装置は世界シェア1位。枚葉トリートメント装置もPlasma Gate Modification Tools市場で世界シェア1位。中期目標としてWFE市場が1,200億ドル時に売上収益3,300億円以上を掲げる。半導体デバイスの微細化・三次元化に対応した高難度成膜技術と高生産性を両立するバッチALD技術が競争優位性。サービスビジネスでは装置ライフサイクル全体のアフターサービスを展開。韓国・横浜・米国にデモ拠点を拡充中。