半導体製造装置（洗浄装置、エッチング装置、アッシング装置、半導体検査装置）およびFPD製造装置（洗浄装置、剥離装置、エッチング装置、現像装置、配向膜インクジェット塗布装置、セル組立装置）を主力製品とするファインメカトロニクス事業。メカトロニクスシステム事業では半導体製造装置（ダイボンディング装置、フリップチップボンディング装置）や真空応用装置（スパッタリング装置、真空貼り合せ装置）を展開。流通機器システム事業では自動販売機・自動券売機を手掛ける。2033年を目標年次とする「芝浦ビジョン2033」を掲げ、半導体・FPD製造装置の開発・拡販を推進。2025年度目標としてROS・ROEの向上を指標に設定。半導体輸出規制や関税動向に注視。