光応用技術を用いた半導体検査・測定装置の設計・製造・販売を中核事業とし、設計製造は自社、販売は北米・欧州は現地子会社、国内・アジアは自社が担当。サービスは各地域子会社が提供。ニッチマーケットで高シェア・高収益を獲得する事業戦略を採用し、ファブライト戦略で製造を外部委託。市場縮小時も営業利益率20％以上維持を目標に、2025-2030年度中期計画でリードタイム短縮・サービス事業拡大・研究開発強化を推進。