半導体製造装置、印刷関連機器、ディスプレー製造装置、成膜装置、プリント基板関連機器の製造・販売をコア事業とする企業。半導体製造装置事業では枚葉式洗浄装置のシェア42％（2024年）を達成。中期経営計画「Value Up Further 2026」において、2027年3月期までに累計売上高1.8兆円以上、営業利益率19％以上、ROIC15％以上を目標。半導体製造装置事業は3カ年累計売上高1.5兆円以上、営業利益率23～25％を計画。新規事業として水素関連の「水電解CCM量産事業」を展開。GHG排出削減目標はScope1&2で70％以上（2019年比）、Scope3で48％以上（同）。